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什么是微機電技術(shù)?微機電MEMS技術(shù)概述

文章出處:新聞動態(tài) 責(zé)任編輯:百世精工科技 發(fā)表時間:2023-04-28 14:18:54
  
  

       微機電系統(tǒng)或 MEMS 是一種技術(shù),可以定義為晶圓級的微型機械和機電元件。這使得 MEMS 技術(shù)可以嵌入到可以集成在印刷電路上的芯片上,就像任何其他電子元件一樣。


       設(shè)備由集成微電子控制下的機電元件(移動或不移動)組成。


       MEMS 的功能元件是微型結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器和微電子器件。微型慣性傳感器和微型執(zhí)行器被歸類為傳感器,它們是將測量到的機械信號轉(zhuǎn)換為電信號的設(shè)備。

MEMS微機電工作原理圖

       微型傳感器現(xiàn)在可用于各種測量,例如溫度、壓力、磁場或慣性測量。


我們的 IMU 選用了高質(zhì)量的 MEMS 組件。與機械或 FOG 陀螺儀或伺服加速度計等競爭技術(shù)相比,這種 MEMS 技術(shù)具有許多優(yōu)勢:

      ?微型設(shè)計提供更小、更輕的產(chǎn)品,從而涵蓋新的應(yīng)用。

      ?該技術(shù)非常強大,可提供更高的抗震性和免維護操作。

      ?與 FOG 或 RLG 等其他技術(shù)相比,MEMS 設(shè)計提供了具有成本效益的解決方案。


微機電性能

       盡管相同的 MEMS 技術(shù)也用于智能手機和平板電腦等消費類應(yīng)用,但低成本 MEMS 和導(dǎo)航級 MEMS 傳感器之間存在非常大的性能差距。 SBG Systems 只選擇高性能傳感器。


振動處理鏈接到振動處理

       SBG Systems IMU慣性測量單元傳感器 專為惡劣環(huán)境而設(shè)計。具體的開發(fā)導(dǎo)致了有效的振動處理。當受到振動時,加速度計或陀螺儀會增加一些偏差。這種對加速度計的振動效應(yīng)稱為 VRE。因此,一個好的起點是選擇具有低 VRE 的傳感器,以承受更高水平的振動。第二點是設(shè)計高效的硬件和軟件信號處理,特別是高頻采樣(>1kHz)將防止混疊問題并提高傳感器數(shù)據(jù)分辨率。

       相關(guān)慣性傳感器產(chǎn)品型號:3DMGX5-IMU、3DM-CX5-IMU3DMCV5-IMU。

陀螺儀的 MEMS 環(huán) - 由 Silicon Sensing 提供

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