積分球 → 不同的應(yīng)用需要不同的球體幾何形狀。 2pi 測(cè)量幾何形狀通常是生產(chǎn)線的首選,因?yàn)樗鼈兛梢钥焖佥p松地將測(cè)量對(duì)象放置在球體中。組合 2pi 或 4pi 積分球是實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的不錯(cuò)選擇,因?yàn)樗鼈冊(cè)跍y(cè)量對(duì)象的位置方面提供了高度的靈活性。此外,可旋轉(zhuǎn)球體是測(cè)量燈在其應(yīng)用位置的良好選擇。
注:光學(xué)測(cè)量?jī)x器制造商Gigahertz-Optik GmbH 在積分球制造方面擁有數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn),并在積分球的選擇和配置方面提供必要的專業(yè)知識(shí)和多功能設(shè)計(jì)選項(xiàng)。
ILED-B 或 ILED-A 適配器 → LED 平均強(qiáng)度適配器(A 或 B)憑借其快速且可重復(fù)的結(jié)果在 LED 測(cè)量技術(shù)中確立了自己的地位。兩種型號(hào)都需要 1 cm2 均勻響應(yīng)率區(qū)域和規(guī)定的測(cè)量距離(ILED-B = 100 mm → 0.01 sr,ILED-A = 316 mm → 0.001 sr)。 ILED-B 因其更短的測(cè)量距離和由此產(chǎn)生的更短的測(cè)量時(shí)間(10 倍)相關(guān)的額外優(yōu)勢(shì)而得到更廣泛的應(yīng)用。
一些生產(chǎn)線需要在晶圓制造過(guò)程中進(jìn)行檢查/分類。這使用所謂的晶圓測(cè)試儀。這些是特殊的、高靈敏度的、基于光纖的輸入光學(xué)器件,可實(shí)現(xiàn)盡可能短的測(cè)量時(shí)間,并直接在所需 LED 前面的晶圓上精確定位。它們大多在輻照度和輻射度方面進(jìn)行校準(zhǔn)。原則上,它們是針對(duì)不同要求對(duì) ILED-B 或 ILED-A 測(cè)量幾何形狀進(jìn)行的修改。
COS 漫射器 → 完美適應(yīng)光譜輻射計(jì)整個(gè)光譜范圍的 COS 漫射器對(duì)于精確的照度測(cè)量非常重要。如果它們沒(méi)有集成,由于測(cè)量信號(hào)的 COS 權(quán)重不同,大入射角可能會(huì)導(dǎo)致光譜測(cè)量誤差。
當(dāng)前源應(yīng)符合 CIE S025 指南。這意味著必須考慮電流源的校準(zhǔn)不確定性、其帶寬等。對(duì)于直流電壓源必須遵守 ± 0.4 % RMS,對(duì)于直流電流源必須遵守 ± 0.2 %。直流電壓測(cè)量應(yīng)優(yōu)于 0.1%。在脈沖操作模式下,應(yīng)該可以通過(guò)觸發(fā)選項(xiàng)將電源與測(cè)量設(shè)備同步。
注意:Gigahertz-Optik 使用 Keithley 或其自己生產(chǎn)的電流源和測(cè)量設(shè)備。
為了避免操作錯(cuò)誤和額外成本,需要直觀的軟件和良好的支持來(lái)將測(cè)量技術(shù)集成到應(yīng)用過(guò)程中,并確保正確的測(cè)量。該軟件還必須支持定制,以滿足用戶的特定要求。它應(yīng)該允許檢查和監(jiān)控不同的設(shè)備,并支持邏輯運(yùn)算和評(píng)估。此外,它應(yīng)該能夠提供快速、可靠、精確的計(jì)算參數(shù)。還必須考慮快速、輕松地集成新參數(shù),例如 IES TM-25 或 IES TM30-15。
CIE S025 指定了實(shí)驗(yàn)室和框架條件的指南。其中包括環(huán)境溫度(公差區(qū)間±1.2°C)、表面溫度、吃水等。它還規(guī)定了電氣測(cè)量精度的指南。
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